Описание

Система HCS позволяет характеризовать полупроводниковые приборы с точки зрения их электрических транспортных свойств, в частности подвижности Холла, концентрации носителей заряда, удельного сопротивления и коэффициента Зеебека. Интегрированные настольные установки предлагают широкий ассортимент продукции - от базовой, управляемой вручную, стадии определения характеристик в зале до автоматизированной стадии определения характеристик при высокой температуре и инновационной конфигурации Halbach для определения характеристик самых сложных образцов.

 

Системы могут быть оснащены различными держателями для образцов в соответствии с различными геометриями и температурными требованиями. Опционально доступны низкотемпературные насадки (LN2), а также версия с высокой температурой до 800 ° C, обеспечивающая охват всех областей применения. В зависимости от конфигурации системы постоянный магнит, электромагнит с водяным охлаждением или магнит Хальбаха обеспечивают напряженность магнитного поля до 1 Тесла. Комплексное программное обеспечение на базе Windows предлагает простой в использовании графический пользовательский интерфейс для управления параметрами системы, определения процедур измерений и температурных профилей, а также позволяет легко оценивать, представлять и хранить данные.

 

Особенности измерения:

·     Концентрация носителей заряда (лист [1/см2]/Объем [1/см3])

·     Постоянная Холла [см3/C]

·     Подвижность в зале [см2/Vs]

·     Сопротивление листа [Ом]

·     Удельное сопротивление [Омсм]

·     Проводимость [С/см]

·     Альфа (горизонтальное/вертикальное соотношение сопротивления)

·     Сопротивление Мегнето

·     Коэффициент Зеебека [мкВ/К]

 

Системные особенности:

·     Газонепроницаемая измерительная камера, позволяющая проводить измерения в определенных атмосферных условиях или вакууме

·     магниты диаметром 120 мм обеспечивают высочайшую однородность поля и максимальную точность, а также самые большие измеряемые размеры образцов

·     Модульная и модернизируемая конструкция системы

·     Высокотемпературное исполнение до 600°C / 873 K

·     Возможность подсветки светодиодным источником света (с несколькими длинами волн)

·     Усовершенствованный встроенный усилитель для измерения самого низкого уровня шума

·     Разъем для подключения внешней электроники

·     Интегрированный пакет программного обеспечения для удобства работы

·     Опция коэффициента Зеебека для применения температурных градиентов на борту до 20 К

Измерительная система

 

Опция с постоянным магнитом (HCS 1)

Ступень HCS 1 оснащена двумя магнитопроводами (неодимовыми), собранными на подвижных салазках, которые при необходимости могут быть автоматизированы. Система может быть оснащена как низкотемпературным, так и высокотемпературным удлинителем.

 

Опция электромагнита (HCS 10)

В дополнение к постоянному магниту доступен комплект электромагнитов. Электромагнит с водяным охлаждением работает в сочетании с программируемым источником питания и переключателем изменения тока. Источник питания может подавать ток до 75 А, что приводит к переменной напряженности магнитного поля до +/-1 Тл.

 

Опция Halbach (HCS 100)

HCS 100 использует magent в конфигурации Halbach (постоянный магнит в конфигурации donut), чтобы прикладывать к образцу либо постоянное, либо переменное магнитное поле. В сочетании с переменным током, обеспечиваемым встроенным усилителем, эта установка является мощным инструментом для исследования сложных выборок, поскольку в большинстве случаев возникающие смещения, а также шум могут быть подавлены.

 

Технические характеристики

модель	HCS 1	HCS 10	HCS 100
Диапазон температур:	От LN2 до 600°C в различных исполнениях -160°C (контролируемое охлаждение) -196°C (закалочное охлаждение)	От LN2 до 600°C в различных исполнениях -160°C (контролируемое охлаждение) -196°C (закалочное охлаждение)	RT до 500°C
Магнит:	два постоянных магнита с нагрузкой +/- 0,7Т** Диаметр полюса 120 мм для максимальной однородности (+/- 1% более 50 мм)	Электромагнит с переменным постоянным полем до +/-1 Т, диаметр полюса 76 мм, источник питания 75А / 40 В. Переключатель изменения тока для биполярного измерения. Альтернативный вариант переменного тока для переменного магнитного поля с полезной нагрузкой ~1 Тл на частоте до 0,1 Гц.	Магнит до 0,5 Т (поле переменного или постоянного тока) Многосегментная конфигурация Хальбаха, внутренний диаметр: 40 мм, высота: 98 мм
Входной ток/ Выходной ток::	Постоянный ток от 1nA до 125 мА (8 декад / соответствие требованиям +/- 12В) Переменный ток от 16 мкА до 20 мА и входное сопротивление: >100 Гигаом в диапазоне от 1 МГц до 100 кГц	Постоянный ток от 1nA до 125 мА (8 декад / соответствие требованиям +/- 12В) Переменный ток от 16 мкА до 20 мА и входное сопротивление: >100 Гигаом в диапазоне от 1 МГц до 100 кГц	Постоянный ток от 1nA до 125 мА (8 декад / соответствие требованиям +/- 12В) Переменный ток от 16 мкА до 20 мА и выходное сопротивление: >100 Гигаом в диапазоне от 1 МГц до 100 кГц
Измерение напряжения:	Низкий уровень шума постоянного тока / низкий дрейф от 1 мкВ до 2500 мВ, усиление за 4 декады, цифровое разрешение: 300pV Переменный ток от 20 нВ до 1 В, переменное время интегрирования и усиления	Низкий уровень шума постоянного тока / низкий дрейф от 1 мкВ до 2500 мВ, усиление за 4 декады, цифровое разрешение: 300pV Переменный ток от 20 нВ до 1 В, переменное время интегрирования и усиления	Низкий уровень шума постоянного тока / низкий дрейф от 1 мкВ до 2500 мВ, усиление за 4 декады, цифровое разрешение: 300pV Переменный ток от 20 нВ до 1 В, характеристики: диапазон входного сопротивления GΩ, переменное время интегрирования и усиления
Датчики/ Геометрия образца:	– от 5 x 5 мм до 12,5 x 12,5 мм, максимальная высота образца 3 мм – от 17,5 x 17,5 мм до 25 x 25 мм, максимальная высота образца 5 мм – от 42,5 x 42,5 мм до 50 x 50 мм, максимальная высота образца 5 мм – Высокотемпературная доска, 10х10 мм, максимальная высота образца 2 мм	– от 5 x 5 мм до 12,5 x 12,5 мм, максимальная высота образца 3 мм – от 17,5 x 17,5 мм до 25 x 25 мм, максимальная высота образца 5 мм – от 42,5 x 42,5 мм до 50 x 50 мм, максимальная высота образца 5 мм – Высокотемпературная доска, 10х10 мм, максимальная высота образца 2 мм	до 10 x 10 мм, максимальная высота образца 2,5 мм
Диапазон удельного сопротивления:	10-4 до 107 (Омсм)*	10-4 до 107 (Омсм)*	10-5 до 107 (Омсм)*
Концентрация носителя:	107 до 1021cm−3*	107 до 1021cm−3	107 до 1022cm−3
Диапазон мобильности:	0.1 up to 107(cm2/Volt sec)*	10-2 up to 107(cm2/Volt sec)	1 ~ 107cm2V-1s-1
Атмосферы:	Vaccum, inert, oxidizing, reducing	Vaccum, inert, oxidizing, reducing	Vaccum, inert, oxidizing, reducing
Точность измерения температуры:	0.05°C	0.05°C	0.05°C

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Опция Зеебека

МОДЕЛЬ	HCS 1	HCS 10
Геометрия образца:	длина от 6 мм до 15 мм, ширина от 1 мм до 10 мм, высота тонкой пленки до 2 мм	длина от 6 мм до 15 мм, ширина от 1 мм до 10 мм, высота тонкой пленки до 2 мм
Коэффициент Зеебека:	от 1 мкВ/К до 2500 мкВ/К	от 1 мкВ/К до 2500 мкВ/К
Измерение:	Метод наклона со скоростью 10 отсчетов в секунду	Метод наклона со скоростью 10 отсчетов в секунду
Градиентный нагреватель:	от 0,1 К до 20 К	от 0,1 К до 20 К
Термопары:	Тип K	Тип K

 

Аксессуары

• Доступны различные держатели для образцов, позволяющие проводить измерения при температуре от LN2 до 800°C.
• Ручка держателя образца герметично закрывает измерительную камеру.
• Измерительная камера снабжена входом и выходом газа, поэтому измерения можно проводить в контролируемой и изменчивой атмосфере.